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半導体製造装置に使用されるセラミックピンの役割

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新緑がまぶしく、さわやかな風が心地よい季節となりました。
皆さまいかがお過ごしでしょうか？
ゴールデンウィークでリフレッシュされた方も多いかと思います。
夏日になるような日もあれば、雨でジメジメした日もあるかもしれませんが日々の仕事に集中して、ミスを起こさないように頑張ってまいりましょう！！

お客様よりいただきましたお問合せに関する情報を【Challenge記録】として毎月2回、皆様に発信させていただいております。
どうか引き続き宜しくお願い申し上げます。

連休の間、半導体製造に関わる資料に目を通していたのですが、製造装置にはたくさんのセラミックス部品が使用されているのだと、あらためて感じました。
普段、図面通りに仕上げた部品としてしか見ていなかったのですが、重要な役割を知ることで、更なるセラミックスの可能性を感じているところです。

今回の情報発信は、半導体装置にも使用されている微細な部品【半導体製造装置に使用されるセラミックピンの役割】というタイトルで、私が調査した内容と絡めて試作案件事例をご紹介いたします。

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お客様からのお問い合わせの多くは、まず、図面を提示され、「製作できるかどうか知りたい。そして、できるのであれば見積もりをしてほしい」との話が先にあります。

弊社は、いろいろなセラミックスを原料から製作できる環境があるため、できるだけ、使用条件や使用用途をお客様にお聞きして、使用環境に適した材料特性を提案することとしています。

問い合わせしていただく案件でやはり多いのが半導体関係ですが、半導体製造装置のどこに使用されるか、我々にはほとんどがよくわかりません。
耐熱性能が高いので熱処理工程に使用される部品が多くあるとは認識していましたが、今回、セラミックリフトピンという微細なピンの試作依頼があり、半導体製造装置に使用されるということを聞き、自分なりにインターネットで調べてみました。

「セラミックリフトピン（ceramic lift pin）は、半導体製造装置、特に成膜（CVD、PVD）やエッチング装置などで使用される部品」という解説があり、ウェハーの昇降、受け渡し制御プロセス中の高温・腐食性環境下にある工程の支持体として使用されているようだということが分かりました。

セラミックスを使用する理由としては、高耐熱性（耐熱性）、耐プラズマ性（化学耐性）、電気絶縁性、低パーティクル性（耐久・耐摩耗性）とありました。
使用される装置は、CVD（化学気相成長装置）、PVD（物理気相成長装置）、ドライエッチャー、アッシャー（アッシュ装置）、RTP（Rapid Thermal Processor）とのことでした。
この装置がどのような役割をしているか、さらなる興味がわいてきました。
高い精度が求められるため、研磨仕上げで精度を出し、現在評価をしていただいております。

これからもお客様の課題に興味を持ち続け、セラミックスの特性を活かしたご提案及び新製品・新技術開発に努めて、皆様の課題解決のお役に立ちたいと考えて活動を続けておりますので、どうぞ末永くよろしくお願い致します。